CONTENTS



会社案内

熱電製品のご案内


電気炉


C/Cコンポジットヒータ関係


サーモコアックスヒータ関係


温度コントローラ


温度センサ関係


その他装置

お問い合わせ窓口



〒143-0024
東京都大田区中央3-15-16
Tel:03-3772-2161(代表)
03-3772-8791(営業)
Fax:03-3772-2192
アクセス


当サイトを閲覧のブラウザは
Microsoft Internet Explorer
5.0 以上の環境を推奨します


ヒータ関係 > 熱電製品情報
 フラットヒータ(高温ホットプレート)

■製品一覧
A形スリーブ端子横取出し
A形CP端子横取出し
A形CP端子縦取出し
A形スリーブ端子縦取出し
B形パイプ付スリーブ中央取出し
B形水冷パイプ付スリーブ中央取出し

■概 要
フラットヒータは、サーモコアックスヒータをある範囲内で均熱を出す為に熱板内に収納させた製品で、特に半導体、真空蒸着装置、金型などの発熱源として適しています。

■用途例
半導体製造装置(CVD装置、アッシング装置 他)、真空蒸着装置などの均熱盤として御使用頂いております。

■サーモコアックス電熱線の特徴
● 電力密度が高くとれ、常用900℃まで使用することができます。
● 熱電導速度が速く、レスポンス・タイムが速い。
● 耐圧性、耐衝撃性、耐蝕性に優れています。
● 真空、高圧容器中での使用に適しています。
● 優れた柔軟性で、シース外径の2倍最小半径で曲げられます。

 600℃を超える場合、ヒータと電源の間に絶縁トランスを御使用下さい。