CONTENTS
トップページ
会社案内
熱電製品のご案内
■
電気炉
■
C/Cコンポジットヒータ関係
■
サーモコアックスヒータ関係
■
温度コントローラ
■
温度センサ関係
■
その他装置
お問い合わせ窓口
〒143-0024
東京都大田区中央3-15-16
Tel:
03-3772-2161(代表)
03-3772-8791(営業)
Fax:
03-3772-2192
アクセス
当サイトを閲覧のブラウザは
Microsoft Internet Explorer
5.0 以上の環境を推奨します
ヒータ関係 > 熱電製品情報
フラットヒータ(高温ホットプレート)
■製品一覧
◆
A形スリーブ端子横取出し
◆
A形CP端子横取出し
◆
A形CP端子縦取出し
◆
A形スリーブ端子縦取出し
◆
B形パイプ付スリーブ中央取出し
◆
B形水冷パイプ付スリーブ中央取出し
■概 要
フラットヒータは、サーモコアックスヒータをある範囲内で均熱を出す為に熱板内に収納させた製品で、特に半導体、真空蒸着装置、金型などの発熱源として適しています。
■用途例
半導体製造装置(CVD装置、アッシング装置 他)、真空蒸着装置などの均熱盤として御使用頂いております。
■サーモコアックス電熱線の特徴
● 電力密度が高くとれ、常用900℃まで使用することができます。
● 熱電導速度が速く、レスポンス・タイムが速い。
● 耐圧性、耐衝撃性、耐蝕性に優れています。
● 真空、高圧容器中での使用に適しています。
● 優れた柔軟性で、シース外径の2倍最小半径で曲げられます。
※
600℃を超える場合、ヒータと電源の間に絶縁トランスを御使用下さい。
製品案内に戻る
│
上に戻る