熱電製品情報
　Ｃ／Ｃコンポジットフラットヒータ
　●高温型フラットヒータ（ＨＦＣ）

 高温型フラットヒータ（ＨＦＣ）は、発熱体とリフレクタに炭素繊維／炭素強化複合材（Ｃ/Ｃコンポジット）を使用した、面状加熱ヒータです。
又、発熱体は2500℃まで使用でき、従来にない高温使用が可能となりました。


特　　長

●高温での、面状の均熱加熱が可能高温型フラットヒータは、フラットで均熱性が得られる、高温型の面状加熱プレートです。
●昇温スピードが早い発熱体は、数秒で1000℃に昇温でき均熱性にも優れています。
●ヒータが薄く、コンパクト試料を直接プレートにのせ、クリーンな状態で加熱処理が行えます。薄く、コンパクトなのでスペースを取りません。又､導入電流が小さく、取扱いやすいプレートヒータです。


仕　　様

最高使用温度
均熱性
使用雰囲気
1500℃ ※１
（試料プレート温度）
±10℃
at
1200℃
（実績値）
真空中又は
　　　不活性ガス中 ※２

制御をヒータを２ゾーン以上に分割することも可能です。

※１最高使用温度は使用環境やケース等の材質による制約がありますので御相談下さい。
※２その他のガスで御使用になられる場合は、御相談下さい。


用　　途

半導体基板加熱（ＣＶＤ装置、スパッタリング装置、フラッシュアニール）
金属焼鈍、合金、セラミック焼成。


構　造　図